Halbleiterindustrie
Um hohe Produktivität und niedrige Emissionen zu erreichen, benötigen Halbleiterhersteller eine sorgfältige Kontrolle von feinen Partikeln und luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC).
Verunreinigungen in der Luft können Folgendes enthalten:
- Chemische Abgase
- Andere industrielle Emissionen
- Abgase von Fahrzeugen
- Saisonale Faktoren
Es gibt viele Arten von Fehlfunktionen aufgrund von AMC: die Blockierung des Kühlluftstroms, Verformung der Oberfläche, Korrosion von elektrischen Teilen, Überbrückung von elektronischen Schaltkreisen und vieles mehr. Deshalb ist eine Filtrationslösung erforderlich, um die Ausfallwahrscheinlichkeit zu reduzieren und die Fertigungsrendite zu verbessern.
Material Model
HUP10DS
HOE35S
